CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
一种变间距刻划的方法及装置 (发明)
花清印; 张庆英
1991-01-30
专利权人中国科学院长春光学精密机械研究所
公开日期1991-01-30
专利类型发明专利
摘要一种变间距刻划的方法及装置,属于光电控制机械刻划领域中的变间距刻划,尤其是变间距光栅的机械刻划。由相干光源、分光元件和平面变间距样板构成干涉仪系统,用此干涉仪可控制工作台做变间距或变速运动。本发明简单易行,准确可靠,对最小变化量无限制且可实现多种间距变化形式。……
申请日期1987-04-10
专利号1008404
语种中文
申请号87102780.1
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12655
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
花清印,张庆英. 一种变间距刻划的方法及装置 (发明). 1008404[P]. 1991-01-30.
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