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一种精密X-Y扫描台的研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 02, 页码: 90-93
作者:  张二星
caj(40Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:414/63  |  提交时间:2013/03/11
X-y扫描台  扫描机构  定位精度  
微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 48-52
作者:  张二星
caj(153Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:371/60  |  提交时间:2013/03/11
微型机械  动态特性  
用干涉法进行轨迹测量的探讨 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 107-111
作者:  史秀荣;  张二星
caj(185Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:438/52  |  提交时间:2013/03/11
干涉计量  计算机软件  
一种用于动态测量的干涉方法 期刊论文
光学技术, 1995, 期号: 03, 页码: 9-11+17
作者:  张二星
caj(180Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:335/49  |  提交时间:2013/03/11
干涉计量  干涉仪  
用于测量微图形的高速机械扫描系统 期刊论文
光学精密工程, 1994, 期号: 03, 页码: 80-84
作者:  张二星;  阮锦;  赵军
caj(125Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:371/54  |  提交时间:2013/03/11
微型机械  微图形  机械扫描