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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
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2003 [1]
1999 [1]
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中国核科技报告 [1]
物理学报 [1]
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中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量
期刊论文
物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812
作者:
黄文忠
;
李英骏
;
谷渝秋
;
张杰
;
尤永禄
;
淳于书泰
;
何颍玲
;
雷安乐
;
陈正林
;
马月英
;
金春水
caj(53Kb)
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浏览/下载:408/73
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线多层膜反射镜
反射率测量
X射线激光
X光多层膜反射镜的损伤与破坏
期刊论文
中国核科技报告, 1999, 期号: 00, 页码: 954-965
作者:
淳于书泰
;
谷渝秋
;
尤永禄
;
黄文忠
;
何颍玲
;
马月英
;
裴舒
;
曹健林
caj(432Kb)
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浏览/下载:431/92
  |  
提交时间:2013/03/11
Mo/si多层膜反射镜:9372
双程放大:2468
X光:1246
反射率:1169
中国工程物理研究院:1067
等离子体喷射:832
界面粗糙度:710
表面状态:605
表面粗糙度:520
等离子体发射:415