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自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹;  罗钧
caj(4828Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/56  |  提交时间：2020/08/24
数字微镜阵列  扫描光刻  自由曲面光学透镜  成像线性错位  图形边缘  投影成像系统