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三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿 期刊论文
光学精密工程, 2023, 卷号: 31, 期号: 20, 页码: 2964-2974
作者:  司马津甫;  赖磊捷;  李朋志;  方宇;  朱利民
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