中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiN_x纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 29-35
作者:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军;  翁立军;  刘维民
caj(611Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：474/132  |  提交时间：2014/03/07
Zrn/α-sinx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能