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用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2003-10-15, 公开日期: 2003-10-15
发明人:  刘益春;  吕有明;  刘玉学;  张吉英;  申德振;  范希武
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离子注入及后退火方法制备SiO_2基质中镶嵌ZnO纳米粒子的结构和光学性质 期刊论文
发光学报, 2002, 期号: 05, 页码: 445-450
作者:  刘玉学;  刘益春;  申德振;  钟国柱;  范希武;  孔祥贵
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离子注入  Zno纳米粒子  热退火  光致发光  激子  
低温下用磁控溅射技术制备无应力氧氮硅薄膜 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2002-08-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  刘益春;  吕有明;  刘玉学;  张吉英;  申德振;  范希武
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两种不同气源制备的高氢含量aSi_(1-x)C_x∶H薄膜的微结构及其热稳定性研究 期刊论文
真空科学与技术, 2001, 期号: 04, 页码: 80-85
作者:  刘玉学;  刘益春;  申德振
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A-si1xcx∶h  电子自旋共振  红外光谱  透射反射谱  退火