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用激光外差技术高精度测量目标速度 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 10, 页码: 2366-2373
作者:  张合勇;  郭劲;  刘宏波;  赵帅
Adobe PDF(1117Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：535/131  |  提交时间：2012/05/11
基于光栅衍射光干涉的位移测量技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  李琳
Microsoft Word(19744Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：609/3  |  提交时间：2013/02/28
用于激光直写设备的纳米分辨力调焦伺服机构 期刊论文
哈尔滨工业大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 310-312
作者:  刘伟;  张景和
caj(176Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/64  |  提交时间：2013/03/11
激光直接写入设备  纳米分辨力  调焦伺服机构