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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
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AlxGa1-xN和AlN/GaN材料的MOCVD生长与器件研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  陈一仁
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散射面性质对接收平面处互强度的影响 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1987, 期号: 02, 页码: 82-86
作者:  魏燎原
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互强度:6745  粗糙表面:3401  观察平面:3276  接收:2733  粗糙散射:2434  表面性质:2058  散射面:1998  付里叶变换:1967  二次位相因子:1920  焦平面:1732