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微通道热沉标准单元制作的SEM观察 期刊论文
电子显微学报, 2000, 期号: 04, 页码: 587-588
作者:  王晓华;  张宝顺;  王玉霞;  任大翠;  张兴德
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/90  |  提交时间：2013/03/11
微通道结构:5798  标准单元:5527  半导体激光器:3149  Sem观察:3000  国家重点实验室:2287  高功率:2245  热沉:1741  精密机械:1309  冷却器:1010  硅微通道:926