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| 大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 姚雪峰
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光栅刻划机 机刻光栅 研磨加工 传动精度测量 宏微双重驱动 |
| Analysis and testing and improved design for enhancing the electromagnetic torque of disc-type micromotor 期刊论文
Zhongguo Dianji Gongcheng Xuebao/Proceedings of the Chinese Society of Electrical Engineering, 2015, 卷号: 35, 期号: 24, 页码: 6519-6526
作者: Liu, B. and H. Liu
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| 基于静电诱导技术的微流体通道的一步制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 陈厚凯
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| CD-like微流控芯片关键器件和集成化技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 刘永顺
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Cd-like微流控芯片 热压 激光加工 微混合器 表面改性 |
| 平面电磁型微电机定转子制作工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
作者: 杨杰伟; 刘治华; 赵江铭; 吴一辉
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微电机 大深宽比 平面线圈 深刻蚀 微电铸 |
