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含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 97-101
作者:  杨进堂
caj(42Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：451/84  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  周期性误差  刻划误差检测