CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条,第1-2条 帮助

已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:351/75  |  提交时间:2017/09/11
硬X射线梯度渐变多层膜设计 期刊论文
长春理工大学学报, 2004, 期号: 03, 页码: 80-83
作者:  姚志华;  金春水;  曹健林
caj(52Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:432/79  |  提交时间:2013/03/11
硬x射线梯度渐变多层膜  分析方法  数值解析方法  分堆栈法