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基于静电诱导技术的微流体通道的一步制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  陈厚凯
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双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:  梁静秋;  郭占社;  吴一辉;  王淑荣;  张平;  宣明
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/82  |  提交时间：2013/03/11
双转子  平面微电机  定子  孔引线  准liga技术