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光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(1235Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/98  |  提交时间：2016/07/06
高精度检测  光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  激光光源  光纤  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：248/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
双光纤相移点衍射干涉仪装调技术 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 145-150
作者:  张宇;  金春水;  马冬梅;  王丽萍
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/97  |  提交时间：2015/04/17
装调技术  双光纤相移点衍射干涉仪  光学系统波像差  光学检测