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变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  宋源
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同步辐射  变包含角平面光栅  单色器  分辨率  聚焦常数  热分析  机械精度检测  
双光路光学反射法终点检测装置 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2418461, 申请日期: 2001-02-07, 公开日期: 2001-02-07
发明人:  宋克非;  王弼陡
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等离子与反应离子刻蚀终点的在线监测——光学反射法 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 91-96
作者:  米宝永
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/47  |  提交时间：2013/03/11
等离子  反应离子  刻蚀终点  在线监测  光学反射法