Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 双光路光学反射法终点检测装置 （实用新型） | |
宋克非 ; 王弼陡
| |
| 2001-02-07 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 公开日期 | 2001-02-07 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 本实用新型属于微细加工领域的一种终点检测设备，采用双光路反射法消除光源波动，光电探测器和电路温度效应等影响，获得测量数据。所述的双光路包括测量光路和参考光路，两光路构成的平面在同一平面上，且同样品光路平面互相垂直。测量信号和参考信号经过电测量装置得出反映加工过…… |
| 申请日期 | 1999-09-30 |
| 专利号 | 2418461 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | 99245880.3 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12911 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋克非,王弼陡. 双光路光学反射法终点检测装置 （实用新型）. 2418461[P]. 2001-02-07. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200100241846100000（227KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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