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临界角法激光直写聚焦伺服系统静态特性研究 期刊论文
电光与控制, 2011, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 59-62
作者:  梁凤超
Adobe PDF(1102Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/122  |  提交时间：2012/05/11
临界角法检焦系统的设计 期刊论文
光学精密工程, 2009, 卷号: 3, 期号: 17, 页码: 537
作者:  郝贤鹏;  任建岳
caj(129Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/70  |  提交时间：2012/09/25
临界角法探焦静态特性实验研究 期刊论文
计量技术, 2005, 期号: 03, 页码: 3-5
作者:  冯晓国;  孙连春
caj(27Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：410/70  |  提交时间：2013/03/11
光刻  焦点探测  临界角  
二元光学元件激光直接写入设备的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: 02, 页码: 154-157
作者:  张景和;  廖江红;  刘伟;  冯晓国
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/66  |  提交时间：2013/03/11
二元光学元件  激光直写设备  临界角法