Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 临界角法探焦静态特性实验研究 | |
冯晓国 ; 孙连春
| |
| 2005-03-18 | |
| 发表期刊 | 计量技术
 |
| 期号 | 03页码:3-5 |
| 关键词 | 光刻 焦点探测 临界角 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29659 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国,孙连春. 临界角法探焦静态特性实验研究[J]. 计量技术,2005(03):3-5. |
| APA | 冯晓国,&孙连春.(2005).临界角法探焦静态特性实验研究.计量技术(03),3-5. |
| MLA | 冯晓国,et al."临界角法探焦静态特性实验研究".计量技术 .03(2005):3-5. |
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| 临界角法探焦静态特性实验研究.caj（27KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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