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MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 09, 页码: 985-990
作者:  王鹏程;  徐华伟;  张金龙;  宁永强
caj(999Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：553/158  |  提交时间：2013/03/11
Ⅲ-ⅴ族半导体化合物  外延生长  金属有机化合物汽相淀积  反射各向异性谱