Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测 | |
王鹏程; 徐华伟; 张金龙 ; 宁永强
| |
| 2012-09-15 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 09页码:985-990 |
| 关键词 | Ⅲ-ⅴ族半导体化合物 外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27285 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王鹏程,徐华伟,张金龙,等. MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测[J]. 发光学报,2012(09):985-990. |
| APA | 王鹏程,徐华伟,张金龙,&宁永强.(2012).MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测.发光学报(09),985-990. |
| MLA | 王鹏程,et al."MOCVD外延生长AlGaAs组份的在线监测".发光学报 .09(2012):985-990. |
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