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投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122003-1-4
作者:  杨旺
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旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
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