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中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 02, 页码: 96-99
作者:  张宝庆;  王占鹏;  高劲松
收藏  |  浏览/下载：215/0  |  提交时间：2019/09/17
衍射光栅  铝膜  基底  硬度  尺度效应