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单晶硅研磨过程的声发射在线监测研究 期刊论文
传感技术学报, 2016, 期号: 4, 页码: 606-613
作者:  崔涛
caj(2239Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：213/76  |  提交时间：2017/09/17
研磨  声发射  在线监测  单晶硅  材料去除率  
基于悬臂梁称重传感器的圆弧刀研磨力测量仪设计 期刊论文
传感器与微系统, 2014, 期号: 2, 页码: 105-107+111
作者:  金志樑;  巴音贺希格;  朱继伟;  吉日嘎兰图;  唐玉国
caj(385Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：453/132  |  提交时间：2015/04/17
双圆锥形圆弧刀  杠杆原理  数字信号处理器  研磨力测量仪  称重传感器  
基于UMAC的超精密研磨抛光机工件坐标系的建立 期刊论文
组合机床与自动化加工技术, 2014, 期号: 10, 页码: 34-35+39
作者:  陈琦
caj(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/65  |  提交时间：2015/04/17
研磨抛光机  超精密加工  工件坐标系  Umac  
高精度双V型导轨的研磨与检测技术 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 02, 页码: 184-189
作者:  宋楠;  姚雪峰;  冯树龙;  糜小涛
caj(306Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/102  |  提交时间：2014/03/07
双v型导轨  直线度  平行度  研磨