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光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 09, 页码: 1071-1075
作者:  王学亮;  巩岩
caj(697Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：603/188  |  提交时间：2013/03/11
光刻物镜  压电陶瓷  动态性能