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低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 28-34
作者:  王刚;  杨柏梁;  赵超;  刘宏宇;  黄锡珉
caj(272Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/71  |  提交时间：2013/03/11
Α-ta  直流磁控溅射  X射线衍射  方块电阻