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光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 05, 页码: 482-486
作者:  张红胜;  冯长有
caj(90Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/59  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  刻划误差  常角法