Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高 | |
| 张红胜; 冯长有 | |
| 2000-10-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 05页码:482-486 |
| 关键词 | 圆光栅 刻划误差 常角法 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30760 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张红胜,冯长有. 光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高[J]. 光学精密工程,2000(05):482-486. |
| APA | 张红胜,&冯长有.(2000).光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高.光学精密工程(05),482-486. |
| MLA | 张红胜,et al."光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高".光学精密工程 .05(2000):482-486. |
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