中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 75-80
作者:  米宝永
caj(257Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：563/94  |  提交时间：2013/03/11
等离子体  发射光谱  在线监测  刻蚀  大规模集成电路  终点