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软X射线多层膜光栅 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 02, 页码: 1-7
作者:  曹召良;  张立超;  曹健林
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/77  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  光栅  
脉冲等子体软X射线探测系统 期刊论文
微细加工技术, 1996, 期号: 01, 页码: 29-39
作者:  郭玉彬
caj(363Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/45  |  提交时间：2013/03/11
等离子体  软x射线  脉冲激光  辐射探测  
DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 04, 页码: 11-14
作者:  郭玉彬
caj(137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/85  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  光刻胶  感光灵敏度