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均匀软X射线多层膜制备方法研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2003, 期号: 05, 页码: 444-446
作者:  金春水;  林强;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/75  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  磁控溅射  均匀性