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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 11, 页码: 2395-2401
作者:  张立超;  高劲松
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深紫外光学  光学薄膜  薄膜沉积  薄膜测量  透过率  面形精度  
薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文) 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 67-72
作者:  付永启;  赵晶丽;  李吉学;  张新;  郑宣明
caj(159Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:466/82  |  提交时间:2013/03/11
照相制版  薄膜沉积  多级衍射光学元件  
二值位相光栅的设计与制作 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 02, 页码: 9-13
作者:  卢振武;  钱龙生;  廖江红;  郑宣明;  赵晶丽
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位相光栅:9599  设计与制作:1822  薄膜沉积:1319  衍射效率:999  片基:594  精密机械:586  透镜阵列:541  光刻胶:523  位相控制:519  针孔阵列:508