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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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期刊论文 [3]
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2012 [1]
1999 [1]
1993 [1]
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光学精密工程 [3]
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出处:光学精密工程
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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 11, 页码: 2395-2401
作者:
张立超
;
高劲松
caj(462Kb)
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提交时间:2013/03/11
深紫外光学
光学薄膜
薄膜沉积
薄膜测量
透过率
面形精度
薄膜沉积多级衍射光学元件的微型制作与误差标定的研究(英文)
期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 67-72
作者:
付永启
;
赵晶丽
;
李吉学
;
张新
;
郑宣明
caj(159Kb)
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浏览/下载:466/82
  |  
提交时间:2013/03/11
照相制版
薄膜沉积
多级衍射光学元件
二值位相光栅的设计与制作
期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 02, 页码: 9-13
作者:
卢振武
;
钱龙生
;
廖江红
;
郑宣明
;
赵晶丽
caj(166Kb)
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收藏
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浏览/下载:393/72
  |  
提交时间:2013/03/11
位相光栅:9599
设计与制作:1822
薄膜沉积:1319
衍射效率:999
片基:594
精密机械:586
透镜阵列:541
光刻胶:523
位相控制:519
针孔阵列:508