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软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/49  |  提交时间：2013/03/11
软x射线投影光刻  多层膜反射镜  软x射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源