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Wolter型X射线嵌套望远镜成像质量分析 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 3, 页码: 92-98
作者:  赵大春;  陈波;  刘鹏;  何玲平
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成像系统  X射线望远镜  分辨率  Mt_rayor  面形误差  
高精度瑞奇-康芒检测法研究及测试距离精度影响分析 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 121-128
作者:  朱硕;  张晓辉
caj(528Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:381/131  |  提交时间:2015/04/17
测量  瑞奇-康芒  精度分析  平面镜  面形误差  测试距离  
基于浮动支撑的620mm薄反射镜面形主动校正 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 05, 页码: 87-95
作者:  李宏壮;  张振铎;  王建立;  刘欣悦;  吴小霞;  张丽敏;  张斌;  王亮
caj(1470Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:390/98  |  提交时间:2014/03/07
光学设计  主动光学  面形误差校正  薄反射镜  浮动支撑  最小二乘法  
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:673/130  |  提交时间:2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析  
振动对面形测量误差的影响分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108
作者:  王汝冬;  田伟;  王平;  王立朋
caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:599/158  |  提交时间:2013/03/11
测量  干涉测量  误差分析  振动  面形误差