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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Wolter型X射线嵌套望远镜成像质量分析
期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 3, 页码: 92-98
作者:
赵大春
;
陈波
;
刘鹏
;
何玲平
caj(1358Kb)
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浏览/下载:322/102
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提交时间:2017/09/17
成像系统
X射线望远镜
分辨率
Mt_rayor
面形误差
高精度瑞奇-康芒检测法研究及测试距离精度影响分析
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 121-128
作者:
朱硕
;
张晓辉
caj(528Kb)
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浏览/下载:381/131
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提交时间:2015/04/17
测量
瑞奇-康芒
精度分析
平面镜
面形误差
测试距离
基于浮动支撑的620mm薄反射镜面形主动校正
期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 05, 页码: 87-95
作者:
李宏壮
;
张振铎
;
王建立
;
刘欣悦
;
吴小霞
;
张丽敏
;
张斌
;
王亮
caj(1470Kb)
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收藏
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浏览/下载:390/98
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提交时间:2014/03/07
光学设计
主动光学
面形误差校正
薄反射镜
浮动支撑
最小二乘法
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:
高飒飒
;
卢启鹏
;
彭忠琦
;
龚学鹏
caj(977Kb)
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浏览/下载:673/130
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提交时间:2013/03/11
X射线光学
功率密度分布
热平衡
面形误差
有限元分析
振动对面形测量误差的影响分析
期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 11, 页码: 105-108
作者:
王汝冬
;
田伟
;
王平
;
王立朋
caj(424Kb)
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浏览/下载:599/158
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提交时间:2013/03/11
测量
干涉测量
误差分析
振动
面形误差