中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件            
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
Adobe PDF(8729Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/114  |  提交时间：2017/09/11
Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
Adobe PDF(1605Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：242/53  |  提交时间：2017/09/11