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飞轮组件微振动对高分辨率光学卫星光轴的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 10, 页码: 2515-2522
作者:  李林;  王栋;  徐婧;  谭陆洋;  孔林;  程龙;  贾学志;  杨洪波
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高分辨率光学卫星  飞轮  微振动  光轴  角位移  像质  
PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：416/99  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度