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离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜 期刊论文
微细加工技术, 2001, 期号: 01, 页码: 26-29
作者:  李红军;  卢振武;  廖江红;  翁志成;  王乃强;  刘金声
caj(30Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:483/90  |  提交时间:2013/03/11
衍射光学元件  离子束刻蚀  菲涅耳透镜  衍射效率