中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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文献类型

期刊论文 [2]

发表日期

2017 [2]

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CIOMP OpenIR

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	Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3 作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao 浏览 \| Adobe PDF(284Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：370/115 \| 提交时间：2018/06/13
	Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1 作者: Liu, Z.; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu 浏览 \| Adobe PDF(420Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：317/95 \| 提交时间：2018/06/13

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