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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Interferometric detection technique based on optical coherence and weak signal detection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 2
作者:  Dong, L.;  B. Wang and X. Liu
Adobe PDF(386Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/128  |  提交时间：2018/06/13