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用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:  黎海文;  吴一辉;  李也凡;  张平;  王淑荣;  贾宏光
caj(69Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/60  |  提交时间：2013/03/11
Mems  微摩擦测试  微力传感器