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粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文
光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83
作者:  杨雄;  金春水;  姚志华;  曹健林
caj(1187Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：467/107  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜