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极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/105  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 10, 页码: 92-101
作者:  李旭;  何飞;  李达;  陈波
caj(2870Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：531/129  |  提交时间：2013/03/11
成像系统  X射线光学  微通道板  光线追迹  结构缺陷