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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
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成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
自由曲面机载头盔显示器光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 222-227
作者:  李华;  张新;  王超;  史广维;  付强
caj(464Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:357/94  |  提交时间:2015/04/17
光学设计  自由曲面  径向基函数  头盔显示