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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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收录类别:SCI
出处:Chinese Physics Letters
发表日期:2006
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Compositional and structural properties of TiO2-xNx thin films deposited by radio-frequency magnetron sputtering
期刊论文
Chinese Physics Letters, 2006, 卷号: 23, 期号: 3, 页码: 682-685
作者:
Jing S. W.
;
Liu Y. C.
;
Liang Y.
;
Ma J. G.
;
Lu Y. M.
;
Shen D. Z.
;
Zhang J. Y.
;
Fan X. W.
;
Mu R. X.
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提交时间:2012/10/21