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Roughness reduction of large-area high-quality thick Al films for echelle gratings by multi-step deposition method 期刊论文
Optics Express, 2015, 卷号: 23, 期号: 18, 页码: 23738-23747
作者:  Li, Z. Z.;  J. S. Gao;  H. G. Yang;  T. T. Wang and X. Y. Wang
Adobe PDF(2367Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：202/69  |  提交时间：2016/07/15