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用于微摩擦测试的微力传感器及其制作 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 03, 页码: 65-69
作者:  黎海文;  吴一辉;  李也凡;  张平;  王淑荣;  贾宏光
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Mems  微摩擦测试  微力传感器  
软X射线多层膜光栅 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 02, 页码: 1-7
作者:  曹召良;  张立超;  曹健林
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:383/77  |  提交时间:2013/03/11
软x射线  多层膜  光栅