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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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圆刻机轴系动态精度分析 期刊论文
仪器仪表学报, 1996, 期号: 04, 页码: 386-390+407
作者:  付永启;  张作梅
caj(161Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/47  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  码盘  连续刻划  精度分析