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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:478/125  |  提交时间:2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
KB mirror system of X-ray photo-emission electron microscope beamline 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Chen, J.-H.;  X.-P. Gong;  S. Xue;  Q.-P. Lu;  Z.-Q. Peng;  Y. Song and Y. Wang
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小型CT螺旋扫描同步控制系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  梁永
Adobe PDF(1896Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:342/2  |  提交时间:2014/03/15
小型ct  螺旋运动  交叉耦合控制器  同步误差  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:492/139  |  提交时间:2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
磁悬浮进给机构设计 期刊论文
制造技术与机床, 2003, 期号: 11, 页码: 42-44+93
作者:  孙宝玉;  林洁琼;  王登月;  梁淑卿;  任建岳
caj(53Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:469/73  |  提交时间:2013/03/11
线性驱动  磁悬浮技术  进给机构  直线同步电动机  数字pid控制