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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
BaF_2闪烁体的辐照损伤 期刊论文
人工晶体学报, 1991, 期号: Z1, 页码: 421
作者:  于长江;  姜国经;  纪慎功;  赵金贵;  武长举;  杨凤兰;  邹宇奇
caj(38Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:389/70  |  提交时间:2013/03/11
辐照损伤:8516  闪烁体:3175  中国科学院:2436  Baf_2晶体:2429  精密机械:2011  研究所:696  透射率:602  颜色变化:525  解决问题:467  辐照前:395