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痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者:  王军
caj(380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：209/96  |  提交时间：2016/07/06
截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅  
硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394
作者:  焦庆斌
caj(225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/156  |  提交时间：2016/07/06
硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  衍射效率  
小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者:  焦庆斌
caj(265Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/94  |  提交时间：2016/07/06
紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀